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该文以金刚石/氮化铝/二氧化硅复合膜结构中声表面波的传播特性为研究对象,利用COMSOL软件建立复合膜有限元模型并进行模拟仿真,根据仿真结果计算得出复合膜结构中声表面波的相速度色散曲线和积淀耦合系数曲线,分析了氮化铝、二氧化硅和铝电极膜厚对声表面波传播特性的影响。
基于COMSOL的复合膜结构中SAW传播特性分析
【摘 要】
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该文以金刚石/氮化铝/二氧化硅复合膜结构中声表面波的传播特性为研究对象,利用COMSOL软件建立复合膜有限元模型并进行模拟仿真,根据仿真结果计算得出复合膜结构中声表面波的
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十六研究所,中国电子科技集团公司重庆声光电有限公司,重庆市第八中学校
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2016年3期
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