椭圆偏振光研究O^＋2注入Si的退火特性

来源 :辽宁大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tsmcxuesheng

【摘要】

：

用椭圆偏振仪测量了O+2注入Si后的椭偏参数Φ和Δ, 给出了离子注入辐射损伤与注入剂量和注入能量的关系.同时,对离子注入片在N2气氛中进行等时热退火,测量了Φ和Δ,给出了O+2

【作者】

：

高雅君刘宏俊等

【机构】

：

辽宁大学物理系

【出处】

：

辽宁大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2001年4期

【关键词】

：

离子注入辐射损伤退火椭圆偏振光集成电路集成度间接测量硅氧离子 ion implantation radiation damage annea

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用椭圆偏振仪测量了O+2注入Si后的椭偏参数Φ和Δ, 给出了离子注入辐射损伤与注入剂量和注入能量的关系.同时,对离子注入片在N2气氛中进行等时热退火,测量了Φ和Δ,给出了O+2注入Si的退火特性.结果表明:O+2注入Si的退火特性曲线,对不同的注入剂量和注入能量分别为"V”形和"W”形.对此结果, 我们进行了初步地分析和讨论.

其他文献

中西交融自出机杼——黎信昌教授歌唱表演与声乐教育思想探微

对一个久负盛名的中国歌唱家来说,半个世纪的艺术历程所积累的思想精髓无疑是令人敬仰的。研究黎信昌教授从艺执教50周年——艺术追求以及道法自然的声乐教涯,对提高和创新高

期刊

黎信昌歌唱表演声乐教学

一种改进的多主体学习方法

Agent具有自私的特性．为了在多agent系统学习时使学习效果体现最大的群体利益，提出了一种改进的多agent学习方法．该学习方法改进了基于基组织共识学习的学习方法，在多agent学习时

期刊

多AGENT组织学习multi - agent organization learning

谈思想政治工作的有效性

做什么事情都要讲求效益、效果。搞经济工作的,要研究经济效益,搞思想政治工作的,也要研究效果。当前,探索思想政治工作的有效性,对新时期加强思想政治工作是具有重要意义的

期刊