【摘 要】
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采用溶胶-凝胶浸渍提拉法制备出纳米钇-铝共掺杂氧化锌(Y-AZO)透明薄膜,利用XRD、EDX、SEM和UVVIS方法对薄膜进行了表征.结果表明:Y-AZO晶粒为六角纤锌矿结构,当Al掺杂量高于
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采用溶胶-凝胶浸渍提拉法制备出纳米钇-铝共掺杂氧化锌(Y-AZO)透明薄膜,利用XRD、EDX、SEM和UVVIS方法对薄膜进行了表征.结果表明:Y-AZO晶粒为六角纤锌矿结构,当Al掺杂量高于或等于Y掺杂量、退火温度为500℃时,得到不含杂质的均匀透明的薄膜,且薄膜在400~780 nm可见光范围内平均透过率在87%以上.
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