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针对InAlAs/InGaAs InP基HEMTs提出了一种16参数小信号拓扑结构.拓扑结构中引入栅源电阻(R gs)表征短栅沟间距引起的栅泄漏电流效应.另外还引入输出跨导(g ds)和漏延迟(τds)描述漏端电压对沟道电流的影响以及漏源电容(C ds)引起的相位变化,从而提高了S 22参数拟合精度.外围寄生参数通过open和short拓扑结构计算得出,本征部分利用去除外围寄生参数后的Y参数计算得出,最终模型参数值经过优化以达到最佳拟合状态而确定.结果表明,s参数和频率特性的仿真值与测试数据拟合程度很好,