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叙述真空管集热器用的太阳能高温选择性吸收膜氮氧化铝(AlN_xO_y)的制备及性能。采用金属铝单靶反应溅射,在铝基体上沉积吸收膜,其吸收率α_(HT)=0.94,热发射率ε_(310℃)=0.136。
反应溅射选择性吸收膜的研究
【摘 要】
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叙述真空管集热器用的太阳能高温选择性吸收膜氮氧化铝(AlN_xO_y)的制备及性能。采用金属铝单靶反应溅射,在铝基体上沉积吸收膜,其吸收率α_(HT)=0.94,热发射率ε_(310℃)=0.
【机 构】
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北京市太阳能研究所,北京市太阳能研究所100083,100083,100083
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1992年4期
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