【摘 要】
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为了提高臭氧发生器的臭氧产量,要求臭氧发生器用的陶瓷基板材料具有较高的介电性能和热导率.本文研究了掺杂成分CaO、Y2O3、YF3、(Y,Ca)F3对臭氧发生器用AlN陶瓷基板材料的
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为了提高臭氧发生器的臭氧产量,要求臭氧发生器用的陶瓷基板材料具有较高的介电性能和热导率.本文研究了掺杂成分CaO、Y2O3、YF3、(Y,Ca)F3对臭氧发生器用AlN陶瓷基板材料的相对密度、热导率、介电常数、介质损耗等性能的影响.采用XRD分析其物相和SEM观察其显微结构,结果表明,掺杂成分对改善陶瓷基板材料性能的作用大小依次排列为:(Y,Ca)F3>YF3>Y2O3>CaO,最适合的掺杂配方是:(Y,Ca)F33.0wt%,YF32.0wt%,Y2O31.0wt%,CaO1.0wt%
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