微机械角速率传感器CMOS闭环驱动电路

来源 :哈尔滨工业大学学报 | 被引量 : 1次 | 上传用户：lan737898

【摘要】

：

为解决微机械角速率传感器的驱动信号对检测电极的耦合问题,提出一种基于电压频率调制闭环静电力驱动方法.该方法将驱动电压调制到高频,有效地将机械谐振频率与电压驱动频率分离,同时不改变驱动静电力的相位与频率.采用自动增益控制电路使得闭环驱动幅值非稳定性为0.01%,片上集成跨阻放大器可实现1 aF/sqrt(Hz)电容变化测量.闭环驱动电路采用18 V高压N阱CMOS工艺设计,芯片面积18.9 mm2.

【作者】

：

尹亮刘晓为陈伟平周治平

【机构】

：

哈尔滨工业大学微电子技术与科学系,哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室

【出处】

：

哈尔滨工业大学学报

【发表日期】

：

2011年11期

【关键词】

：

角速率传感器寄生电容跨阻放大器专用集成电路 angular rate sensor parasitic capacitance transimped

【基金项目】

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国家高技术研究发展计划资助项目（2008AA042201）.

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