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水平式MOCVD系统生长速度均匀性的研究
水平式MOCVD系统生长速度均匀性的研究
来源 :长春光学精密机械学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yilongzhanyuye1
【摘 要】
:
本文讨论了影响生长速度的因素,如主载气流量、金属有机源流量(在一定蒸气压下),衬底放置位置,及掺杂和非掺杂情况等.对实验结果进行了计论,并与其它文献进行了比较.着重阐述
【作 者】
:
刘国军
徐莉
【机 构】
:
长春光学精密机械学院近代光学研究所,长春光学精密机械学院近代光学研究所
【出 处】
:
长春光学精密机械学院学报
【发表日期】
:
1993年1期
【关键词】
:
MOVCD
生长速率
均匀性
MOCVD
Growth Rate
Uniformity
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本文讨论了影响生长速度的因素,如主载气流量、金属有机源流量(在一定蒸气压下),衬底放置位置,及掺杂和非掺杂情况等.对实验结果进行了计论,并与其它文献进行了比较.着重阐述了改善侧向均匀性问题.
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