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光学非接触测头在其实际应用中,有一系列问题需要解决.为此,对三角法测量头的灵敏度与特性标定、工件的倾斜与颜色的影响、光束功率与引起的温升、测头的位置找正、测头系统的作用半径标定等应用中的关键技术进行了实验研究,提出了误差补偿、提高调整和标定精度以提高光学非接触测头使用精度的方法.
三角法光学非接触测量头应用中的关键技术
【摘 要】
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光学非接触测头在其实际应用中,有一系列问题需要解决.为此,对三角法测量头的灵敏度与特性标定、工件的倾斜与颜色的影响、光束功率与引起的温升、测头的位置找正、测头系统
【机 构】
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中国工程物理研究院化工材料研究所; 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 绵阳621900; 绵阳621900;
【出 处】
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天津大学学报
【发表日期】
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2005年01期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(50075064).
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