【摘 要】
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采用Sol—gel法，在普通载玻片上使用旋转涂覆技术生长了具有c轴择优取向生长的ZnO薄膜。用热分析、XRD、SEM等手段对薄膜样品进行了表征。热分析结果表明：二水醋酸锌-乙醇胺-乙
【基金项目】
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教育部高等学校骨干教师资助计划项目(GG-430-11902-1010)
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采用Sol—gel法，在普通载玻片上使用旋转涂覆技术生长了具有c轴择优取向生长的ZnO薄膜。用热分析、XRD、SEM等手段对薄膜样品进行了表征。热分析结果表明：二水醋酸锌-乙醇胺-乙二醇甲醚体系Sol-gel的热分解过程与纯二水合乙酸锌的分解过程大相径庭。ZnO薄膜的Sol-gel分解趋于在较窄的温度范围内一步完成。在Si（111）衬底和玻璃衬底上生长了ZnO薄膜，都表现出明显的C轴择优取向生长。对比了不同涂覆层数对ZnO薄膜结构及表面形貌的影响，ZnO薄膜的C轴择优取向生长特性随着涂覆层数的增加而减弱，
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