【摘 要】
：
本文设计了扩散炉型等离子增强化学气相淀积(简称PECVD)系统.通过实验,确定了SiH_4—NH_3体系PECVD氮化硅薄膜的较佳工艺条件,并对膜的性质作了测定,可在低温(
【机 构】
：
骊山微电子公司,骊山微电子公司,骊山微电子公司
论文部分内容阅读
本文设计了扩散炉型等离子增强化学气相淀积(简称PECVD)系统.通过实验,确定了SiH_4—NH_3体系PECVD氮化硅薄膜的较佳工艺条件,并对膜的性质作了测定,可在低温(<400℃)下获得优质均匀的氮化硅膜.本工艺的优点是安全、保证质量、系统简单、操作力便、没有付产物、易于推广.该工艺已用于N-沟硅栅MOS器件表面钝化,可提高产品的性能和可靠性.
In this paper, a diffusion furnace plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) system has been designed.The optimum conditions for the PECVD silicon nitride thin films of SiH_4-NH_3 system have been determined by experiments, and the properties of the films have been determined, (<400 ℃) to obtain high quality and uniform silicon nitride film.The advantages of this process are safety, quality assurance, simple system, easy operation, no product, easy to popularize.The technology has been used for N-channel silicon gate MOS Device surface passivation, can improve product performance and reliability.
其他文献
中国文化,博大精深。古代中国对日本有着重要的影响。日本在学习中国的过程中形成了自己的文化。美国著名的人类学家鲁思·本尼迪克特的著作《菊与刀——日本文化的类型》就
电子政务是政府在信息化时代管理创新的一个亮点。作为在传统政务基础上发展起来的政务实施方式,电子政务是一项系统性的工程,涉及到政府官员观念、政府职能、政府机构和业务
直接由模拟三阶环各部件数字化引出了数字三阶环。用模拟环的分析和设计方法,对一数字三阶环进行了近似地分析和设计。实验和测试结果表明,此数字三阶环稳定可靠,性能良好。
硅-二氧化硅界面过渡区的状态与半导体器件制造工艺有密切关系。以不同的光电子发射角对不同的阳极氧化样品得到的XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy)谱表明;阳极氧化生
本文对国外70—80年代介绍的 DVCCS 以及由 DVCCS 实现的浮地电感进行了理论推证,并首次成功地用国产分立元件完成了浮地电感的模拟实验。本文主要分两部分:理论部分:对 DVCC
本文就电子设备的热设计中,关于新型、高效的传热元件-热管的应用问题,从它的结构特性、近似计算和热管的优缺点等,结合电子设备的具体情况予以介绍。同时,根据我们制作的几
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
【摘要】创客教育的出现给信息技术学科注入了新的活力，创客教育可以让学生把学到的信息技术、数学、物理、艺术等多学科的知识融合在一起，把一个个创意通过创客工具变成现实去解决生活中所遇到的问题，创客教育对学生创意和创新能力的培养具有重大意义。 【关键词】创客教育 项目教学 创意 数字制作工具 开源 社团 【中图分类号】G633.67【文献标识码】A 【文章编号】2095-3089（2017）16-0
循证医学(evidence-based medicine, EBM)以翔实的科学证据作为最佳的临床研究依据,从而负责、明确、明智的利用已有最好证据决定每个患者的治疗.在大规模临床试验结果基础上,也强调结合医生个人专业知识和临床经验,最终目的是更好地解决临床实际问题。
在新教学改革精神的指引下,新的教科书在每一章的前言部分都安排了章首语.有的老师认为,这章首语可有可无,在数学教育中没有作用,而且显得累赘,我却认为不然,在数学教学中,章