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作为新兴的制造技术,3D打印不仅是产品创新的利器,更是高端装备制造的重要研究方向。研究遵循电子束熔覆工艺特点,以零件结构与功能需求为正向切入点,借助CAD和CAE工具,对光刻机工件台现有精密运动框架进行二次设计。理论计算表明:与原零件相比,3D打印运动框架重量减轻69%,模态基本保持不变。这一结果证明了提出的3D打印高性能光刻机零件设计与制造方法的科学性。