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期刊论文
FMCS系统在集成电路工厂中的应用
FMCS系统在集成电路工厂中的应用
来源 :中国西部科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wd707800502
【摘 要】
:
根据集成电路工厂工艺的要求,综合应用了基于工业现场总线技术的监控管理系统,详细介绍系统网络的构架、硬件配置、控制层次、控制功能要求。该控制系统保证了工厂运行的可靠
【作 者】
:
姚虹
【机 构】
:
信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司
【出 处】
:
中国西部科技
【发表日期】
:
2011年9期
【关键词】
:
FMCS系统
控制
应用
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根据集成电路工厂工艺的要求,综合应用了基于工业现场总线技术的监控管理系统,详细介绍系统网络的构架、硬件配置、控制层次、控制功能要求。该控制系统保证了工厂运行的可靠性和实时性,提高了自动化水平和管理水平。
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