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报道了用透射电子显微镜对单层ＹＢＣＯ薄膜，ＰＺＴ／ＹＢＣＯ集成薄膜，ＳＴＯ／ＧＢＣＯ集成薄膜和ＳＴＯ／ＢＴＯ超晶格薄膜等四种有代表性的薄膜样品的研究结果．在单层ＹＢＣＯ平面样品中观察到镶嵌，在生长在ＹＢＣＯ／ＳＴＯ上面生长的ＰＺＴ薄膜中，观察到柱状结构．用ＰＬＤ方法生长的ＳＴＯ／ＧＢＣＯ，ＹＳＺ集成薄膜中缺陷很少．虽然ＧＢＣＯ膜的表面并不平整，但仍能生长出ｃ取向的ＧＢＣＯ薄膜．用ＭＢＥ方法生长的ＳＴＯ／ＢＴＯ多层膜具有很好的外延特征．由于晶格匹配和层状生长机制所以具有锐的界面．这些结果对改进铁电超导集成薄