【摘 要】
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今天的传感器已经从简单的换能器发展成带有微型电子机械发动机和具有无线传输能力的智能型传感器。这类智能传感器最重要的发展有三个方面:采用了微电子机械系统(MEMS)、智
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今天的传感器已经从简单的换能器发展成带有微型电子机械发动机和具有无线传输能力的智能型传感器。这类智能传感器最重要的发展有三个方面:采用了微电子机械系统(MEMS)、智能化的传感器和实现了网络化(特别是无线联网)。 这三种技术发展趋势并不是传感器技术所独有的,它是许多高技术发展阶段中都能看到的技术发展的反映。例如,智能传感器就是半导体组件正在出现的发展趋势之一集成更多功能。集成电路的尺寸越来
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