近场平面扫描架系统热误差分析

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平面近场误差分析对于提高近场测量精度有重要意义,本文就系统误差源中的热误差进行分析,给出受热形变后各部件变化量,对形变较大部位进行定量分析,最后通过模拟仿真估算单位热量下的变化量,并给出改进方案。
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