【摘 要】
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针对国产射频匹配器只有模拟电路控制式产品并与国外数字化产品有很大性能差距的现状,研制了一种数字化射频电源网络自动匹配器。其原理是通过调节Γ型网络的电容值来实现电
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针对国产射频匹配器只有模拟电路控制式产品并与国外数字化产品有很大性能差距的现状,研制了一种数字化射频电源网络自动匹配器。其原理是通过调节Γ型网络的电容值来实现电源与负载的动态匹配,由反射系数检测器、数字信号处理器、电容位置传感器和电机驱动电路等组成一个闭环系统,控制电机来调节电容以实现上述原理。测试表明其可匹配阻抗范围增大、端对端匹配时间小于12s,综合性能显著优于模拟电路控制式匹配器。
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