【摘 要】
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基于MEMS技术的数字检波器的在地震勘探领域的成功应用，彻底摒弃模拟检波器的机电转换装置，真正实现了全数字化采集。数字检波器最核心的技术，在于它的加速度感应头，也称之为微机
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基于MEMS技术的数字检波器的在地震勘探领域的成功应用，彻底摒弃模拟检波器的机电转换装置，真正实现了全数字化采集。数字检波器最核心的技术，在于它的加速度感应头，也称之为微机电系统（Micro Electro Mechanical System）,即MEMS。本文主要介绍MEMS芯片的工作原理、电路构成，以及SER CEL公司生产的单分量数字检波器DSU1在地震勘探数据采集中的实际应用。
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