金属非晶化的新方法——高功率毫微秒脉冲离子束注入

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一、引言 离子注入所产生的离子混和过程是得到多种非晶合金的一种重要手段,而用强流脉冲离子束注入可以产生一般弱流注入不能达到的骤热急冷过程,而且,原子混合的深度可以超过入射离子能量所对应的射程,因此,采用这一注入方式将扩大金属非晶化的研究范围。 I. INTRODUCTION The ion mixing process generated by ion implantation is an important method to get a variety of amorphous alloys. However, the impulse quenching process can not be achieved by the impulse injection of strong pulsed current, and the atomic mixing Depth can exceed the incident ion energy corresponding to the range, therefore, the use of this injection method will expand the scope of the study of metal amorphization.
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