【摘 要】
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采用磁控溅射方法在硅衬底上制备了纯ZnO薄膜和 Al、Mn掺杂的 ZnO 薄膜。用 X衍射和原子力显微镜分析了薄膜的晶化行为和显微结构，利用Keithley 2400高阻计分析了薄膜的电学性
【机 构】
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广西机电职业技术学院,广西大学实验设备处
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采用磁控溅射方法在硅衬底上制备了纯ZnO薄膜和 Al、Mn掺杂的 ZnO 薄膜。用 X衍射和原子力显微镜分析了薄膜的晶化行为和显微结构，利用Keithley 2400高阻计分析了薄膜的电学性质。结果表明，掺入 Al的ZnO薄膜有良好的晶化，有很好的表面结构，显示强烈的（002）择优取向，呈现低的电阻率，可用作太阳能电池的电极材料。
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