【摘 要】
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在厚度为100 μm的铝基底上,制作了一种由隙缝相连的六边形共面微腔阵列,研究了方波驱动下,该微腔阵列在氖气中的放电发光分布与气压的关系,光谱分布及放电的演变过程.结果表
【机 构】
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西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室 西安 710049
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在厚度为100 μm的铝基底上,制作了一种由隙缝相连的六边形共面微腔阵列,研究了方波驱动下,该微腔阵列在氖气中的放电发光分布与气压的关系,光谱分布及放电的演变过程.结果表明:这种隙缝相连的六边形共面微腔阵列放电时,随气压的升高,发光光强分布从腔体中心位置逐步向腔体侧壁移动,其发光光谱为588 nm的可见光和312 nm的紫外光.增强电荷耦合器件拍摄的阵列放电瞬时状态表明,在一个方波驱动周期的两次放电中,共面微腔等离子体阵列放电演变呈现出等离子波动传播的现象,且这两次传播方向相反,传播速度均为10~15 km/s.
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