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随着Ge重要性的提高，需要寻找比GeH4更适用的前驱物。本文对用于应变Si和化合物半导体集成电路的两种新型Ge前驱物的品质特性进行了探讨。
用于应变硅和化合物半导体的锗前驱物
【摘 要】
：
随着Ge重要性的提高，需要寻找比GeH4更适用的前驱物。本文对用于应变Si和化合物半导体集成电路的两种新型Ge前驱物的品质特性进行了探讨。
【机 构】
：
RohmandHaasElectronicMaterials,IsabelleSagnes
【出 处】
：
集成电路应用
【发表日期】
：
2006年6期
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