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本文介绍了(PNHP型微脉冲等离子渗氨炉)结构及其特殊的功能,测试了炉内温度均匀性及初步应用情况.
新型离子渗氮炉研制
【摘 要】
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本文介绍了(PNHP型微脉冲等离子渗氨炉)结构及其特殊的功能,测试了炉内温度均匀性及初步应用情况.
【机 构】
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上海嘉顿环保科技有限公司,200001
【出 处】
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上海市真空学会第七届学术年会
【发表日期】
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2000年3期
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