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对圆形、正方形和矩形膜片力敏折灵敏器件的灵敏度进行了详细剖析，计算并列出大量数据，指出了影响压力传感器灵敏度的因素和提高灵敏度的有效途径，给出部分实验数据与理论分析符合较好，本分析对开发设计高灵敏度的力敏元件有重要指导意义。
压阻式传感器灵敏度特性分析
【摘 要】
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对圆形、正方形和矩形膜片力敏折灵敏器件的灵敏度进行了详细剖析，计算并列出大量数据，指出了影响压力传感器灵敏度的因素和提高灵敏度的有效途径，给出部分实验数据与理论分析符
【机 构】
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辽宁大学电子科学与工程系
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1999年4期
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