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<正> 本文是采用Monte Carlo方法,探讨了轻元素定量的EPMA计算的模型及效果。并用其它作者的计算结果进行了比较。本文所提出计算模型的特点是基于单电子多重散射的基本原理,采用了等步长方式去计算当入射电子同试样原子碰撞时所发生的电离以及入射电子的能量损失和运动方向的变化。有关电子散射中能量变化的计算是采用Bethe的连续能量损失公式。根据电子激发的辐射跃迁理论,用Green和Cosslet的原子电离几率公式计算了X射线产生的强度。经过5000个电子的统计计算得到Φ(δz)(它代表X射线