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为了深入探讨塑性铣削单晶硅的切削机理，对单晶硅进行了微细铣削实验研究．结果表明，合理地设定铣削参数与保证特定的铣削环境都很重要，在这个前提下，可以实现塑性切削，在单晶硅上获得具有完整几何外形的特征，同时表面质量可以达到单纳米级别．
微细塑性铣削单晶硅实验研究
【摘 要】
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为了深入探讨塑性铣削单晶硅的切削机理，对单晶硅进行了微细铣削实验研究．结果表明，合理地设定铣削参数与保证特定的铣削环境都很重要，在这个前提下，可以实现塑性切削，在单晶硅上获
【机 构】
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山东理工大学机械工程学院,温州职业技术学院机械工程系
【出 处】
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山东理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2012年4期
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