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高性能的测试系统对MEMS的研究和开发具有重大的现实意义.本文结合MEMS共性特性的测试需求,通过讨论部分典型的MEMS测试系统,阐述了MEMS测试系统的研究现状,分析了构建MEMS测试系统所需的若干关键技术,提出了目前MEMS测试领域面临的一些主要挑战.
MEMS测试系统的研究现状与面临的挑战
【摘 要】
：
高性能的测试系统对MEMS的研究和开发具有重大的现实意义.本文结合MEMS共性特性的测试需求,通过讨论部分典型的MEMS测试系统,阐述了MEMS测试系统的研究现状,分析了构建MEMS测
【机 构】
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北京大学微电子所
【出 处】
：
测试技术学报
【发表日期】
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2002年z2期
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