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N2流量对HiPIMS制备Al-N共掺杂ZnO薄膜的性能影响网络首发

来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ffg

【作 者】

：

李倩 张玉琛 王正铎 杨丽珍 张海宝 刘忠伟 陈强 

【出 处】

：

真空与低温

【发表日期】

：

2019年11期

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