【摘 要】
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本文针对压阻式加速度计的特点，采用了数、力分析方法，引入传递函数的概念，建立了压阻式加速度计动态特性的基本模型。结合实际对传感器的幅频和相频特性进行了必要的分析，并以三
【机 构】
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黑龙江大学信息与电子科学系，东北传感技术研究所
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本文针对压阻式加速度计的特点，采用了数、力分析方法，引入传递函数的概念，建立了压阻式加速度计动态特性的基本模型。结合实际对传感器的幅频和相频特性进行了必要的分析，并以三维加速度计为例，说明了结构参数对传感器性能的影响。
In this paper, the characteristics of piezoresistive accelerometer, using the number of force analysis method, the introduction of the concept of transfer function, established a piezoresistive accelerometer dynamic characteristics of the basic model. The amplitude and phase frequency characteristics of the sensor are analyzed with the actual situation. Taking the three-dimensional accelerometer as an example, the influence of structural parameters on the performance of the sensor is illustrated.
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