【摘 要】
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为探讨磁致冷材料Gd表面溅射保护膜后的附着性能，利用直流磁控溅射技术在Gd基体上镀不锈钢（1Cr18Ni9Ti）薄膜。采用扫描电镜（SEM）、能谱仪、扫描探针显微镜对薄膜进行了表征，并用引
【机 构】
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井冈山大学工学院,西华大学材料学院
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为探讨磁致冷材料Gd表面溅射保护膜后的附着性能，利用直流磁控溅射技术在Gd基体上镀不锈钢（1Cr18Ni9Ti）薄膜。采用扫描电镜（SEM）、能谱仪、扫描探针显微镜对薄膜进行了表征，并用引拉法测定了薄膜的附着强度。结果表明，不锈钢薄膜溅射初期呈岛状分布；溅射一定时间后薄膜呈层状生长，表面质量好，膜／基界面结合好，附着强度高，在功率密度为966W／cm^2、溅射时间为8min时附着强度达到最大值24．7MPa。
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