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机械手路径规划是掩模传输系统的一个重要组成部分。掩模传输系统的主要作用是存贮掩模版，对掩模版进行传输、精确定位以及交接版。机械手路径规划在掩模传输系统中，用于对机械手、版库等移动组件的移动路径进行规划，防止发生碰撞，保证人员、设备以及掩模版的安全。机械手的移动路径采用决策表法进行规划。
决策表在机械手路径规划中的应用
【摘 要】
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机械手路径规划是掩模传输系统的一个重要组成部分。掩模传输系统的主要作用是存贮掩模版，对掩模版进行传输、精确定位以及交接版。机械手路径规划在掩模传输系统中，用于对机械
【机 构】
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上海微高精密机械工程有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2008年7期
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