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国家同步辐射实验室新建了覆盖5~40 eV的低能区高分辨率角分辨光电子能谱光束线。其球面光栅单色仪包含了三块光栅，即300，600和1200 line/mm球面层式（Laminar）光栅。采用全息离子束刻蚀工艺，在硅光栅基片上成功地刻蚀出1200 line/mm、占空比0.35、槽深35 nm、有效刻划面积大于120 mm×20 mm的Laminar光栅。在角分辨光电子能谱光束线完成调试的同时，进行了初步的光谱标定及性能测试。波长的刻度和光谱测试直接采用波荡器辐射作为光源，用已知气体的吸收峰做标准来进行标定。测量结果表明：1200 line/mm光栅测量Ar的吸收谱，在29.2 eV附近可得到2.6 meV的能量分辨，分辨本领约为11000，满足了光束线设计要求。