激光灼蚀形成纳米硅的光致发光谱研究

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:coastllee
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在激光灼蚀(PLD)系统中,采用流动的N2作为环境气体成功制备了尺寸从2纳米到几纳米之间的纳米硅,并在1.60~1.75 eV之间观测到了较强的光致发光谱:结合Raman散射和光致发光谱的分析,推断强光致发光来源于纳米硅的量子效应.
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