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本文论述了一种新型感光材料分辨率测定仪的原理。重点讨论了仪器参数的选择和光电控制系统的原理和组成，最后给出了实验结果。本仪器具有光学分辨率高，检测速度快，自动化程度度的优点，独创的激光干涉自动调焦系统，保证了对焦精度。
一种新型感光材料分辨率测定仪
【摘 要】
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本文论述了一种新型感光材料分辨率测定仪的原理。重点讨论了仪器参数的选择和光电控制系统的原理和组成，最后给出了实验结果。本仪器具有光学分辨率高，检测速度快，自动化程度度
【机 构】
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天津大学精密仪器工程系
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1994年3期
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