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采用水热合成法在预先生长的ZnO种子层的玻璃衬底上制备出ZnO纳米棒有序阵列薄膜。通过X射线衍射、扫描电镜、透射电镜和选区电子衍射分析表明：所制备的薄膜由垂直于ZnO种子层的纳米棒组成，呈单晶六角纤锌矿ZnO结构，且沿[001]方向择优生长，纳米棒的平均直径和长度分别为10．0nm和3．3μm。