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本文简要介绍了自动椭偏仪的系统结构和硬件电路设计，着重叙述仪器的软件设计。
自动椭圆偏振测厚仪中的软件设计
【摘 要】
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本文简要介绍了自动椭偏仪的系统结构和硬件电路设计，着重叙述仪器的软件设计。
【机 构】
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华南师范大学物理系,广东省公安厅科技处
【出 处】
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华南师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1998年4期
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