随着纳米技术的发展,人们对高精度驱动和定位技术的需求也变得越来越大。压电驱动器具有驱动精度高,响应速度快,驱动力大,结构简单等优点,在高精度驱动和定位领域得到了广泛的应用。但是压电驱动器的驱动行程通常较短,只适用于短行程驱动的情况,无法满足长行程(毫米级)驱动的要求。此外,压电驱动器在应用中会出现迟滞效应,即系统的激励电压和响应位移之间会存在明显的非线性,这会影响驱动器的精度和稳定性,也会增加了控
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