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本文介绍了一种在材料研究和半导体器件分析等领域中常用的结构分析技术——定量会聚束电子衍射术。主要介绍会聚束电子衍射方法的简史及近况、定量会聚束电子衍射的特点和发展方向。同时，简述了定量会聚束电子衍射技术在材料科学研究中的应用和实验的基本过程。
定量会聚束电子衍射：Ⅰ．研究动态
【摘 要】
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本文介绍了一种在材料研究和半导体器件分析等领域中常用的结构分析技术——定量会聚束电子衍射术。主要介绍会聚束电子衍射方法的简史及近况、定量会聚束电子衍射的特点和发
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2007年2期
【基金项目】
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国家973计划项目（No.2002CB613505）.
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