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生长晶向偏离对直拉<111>无位错硅单晶外形的影响
生长晶向偏离对直拉<111>无位错硅单晶外形的影响
来源 :科技通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yzmxfyzm
【摘 要】
:
运用邻位面台阶化概念,推导出直拉<111>无位错硅单晶横截面周界方程。阐述了无位错硅单晶的“鼓苞”机理,理论值与实验符合良好。
【作 者】
:
陈立登
赵松宏
张民杰
【机 构】
:
浙江大学材料系; 浙江大学材料系;
【出 处】
:
科技通报
【发表日期】
:
1989年02期
【关键词】
:
硅单晶
晶向偏离角
晶向偏离
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运用邻位面台阶化概念,推导出直拉<111>无位错硅单晶横截面周界方程。阐述了无位错硅单晶的“鼓苞”机理,理论值与实验符合良好。
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