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基于动态光电瞄准的2m激光干涉比长仪研究
基于动态光电瞄准的2m激光干涉比长仪研究
来源 :机电信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:otaku2456
【摘 要】
:
激光干涉比长仪是用激光波长直接检定线纹尺的工作基准类仪器,可将几何量值直接溯源到国际推荐的激光波长。为减小测量误差,满足测长精度,研究了新的激光干涉比长仪装置。该
【作 者】
:
刘婷婷
赵新丽
李艳
张子辰
【机 构】
:
航空工业计量所
【出 处】
:
机电信息
【发表日期】
:
2021年17期
【关键词】
:
激光干涉比长仪
动态光电瞄准
折射率修正
软件控制
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激光干涉比长仪是用激光波长直接检定线纹尺的工作基准类仪器,可将几何量值直接溯源到国际推荐的激光波长。为减小测量误差,满足测长精度,研究了新的激光干涉比长仪装置。该装置主体结构采用花岗岩石,利用空气静压导轨技术、高精度光电显微镜瞄准技术和空气折射率准实时修正技术等,有效提高了测量精度。
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