【摘 要】
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采用流延成形法制备AlN陶瓷基片，研究丁烧结助剂、烧成温度和保温时间对AlN陶瓷基片烧结性能的影响。结果表明：在烧结助剂（CaF2-YR）的添加堪为4％、烧成温度为1650℃、保温3h，能得到
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采用流延成形法制备AlN陶瓷基片，研究丁烧结助剂、烧成温度和保温时间对AlN陶瓷基片烧结性能的影响。结果表明：在烧结助剂（CaF2-YR）的添加堪为4％、烧成温度为1650℃、保温3h，能得到结构致密的ALN陶瓷基片，体积密度达3．25g／cm^2。采用XRD、SEM等检测手段对ALN陶瓷基片的物相和形貌进行了分析，揭示ALN陶瓷基片烧结性能与工艺参数之间的关系。
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