【摘 要】
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利用Na2CO3/NaHCO3的混合溶液,以Na2SiO3作为添加剂,对单晶硅表面进行了各向异性腐蚀,研究了溶液中NaHCO3的含量、腐蚀时间和温度以及加入Na2SiO3量对绒面的影响.结果表明,硅
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(21171072);广东省自然科学基金项目(9151063201000018)
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利用Na2CO3/NaHCO3的混合溶液,以Na2SiO3作为添加剂,对单晶硅表面进行了各向异性腐蚀,研究了溶液中NaHCO3的含量、腐蚀时间和温度以及加入Na2SiO3量对绒面的影响.结果表明,硅片在含有10%Na2CO3/5%NaHCO3/5%Na2SiO3的腐蚀液中于90℃恒温腐蚀25min可制备出均匀的具有金字塔结构的减反射绒面;通过将织构液置于密封的环境下,可以增强小尺寸金字塔的均匀分布;腐蚀液中加入硅酸钠可以减小金字塔尺寸,降低表面反射率.
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