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EM-5009b激光图形发生器漏曝和曝光移位现象研究
EM-5009b激光图形发生器漏曝和曝光移位现象研究
来源 :集成电路通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sfyaa
【摘 要】
:
针对EM-5009b激光图形发生器出现漏曝、曝光移位问题,通过实验和分析。总结了产生漏曝、曝光移位现象的一些原因。
【作 者】
:
方澍
【机 构】
:
中国兵器工业第214研究所蚌埠233042
【出 处】
:
集成电路通讯
【发表日期】
:
2003年2期
【关键词】
:
EM-5009b
激光图形发生器
漏曝
曝光移位
掩膜版
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针对EM-5009b激光图形发生器出现漏曝、曝光移位问题,通过实验和分析。总结了产生漏曝、曝光移位现象的一些原因。
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