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针对光刻用准分子激光器的激励技术，利用拉普拉斯变换方程对脉冲变压器高压充电过程进行了分析，验证了耦合系数于与压缩高压充电时间的重要作用。耦合系数越接近于1，高压充电时间越短。介绍了充电电路与磁开关结合后完成快放电的过程，并提出了一种控制谐振充电的方法。实现了对高压电容50μs内的快充电。
脉冲升压式准分子激光电源研究
【摘 要】
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针对光刻用准分子激光器的激励技术，利用拉普拉斯变换方程对脉冲变压器高压充电过程进行了分析，验证了耦合系数于与压缩高压充电时间的重要作用。耦合系数越接近于1，高压充电时
【机 构】
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中国科学院安徽光学精密机械所
【出 处】
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量子电子学报
【发表日期】
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2009年1期
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