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利用脉冲激光淀积方法,我们制备了外延La0.7Ca0.3MnO3-δ薄膜.实验发现,在30Pa氧分压下制备的薄膜晶格中仅有少量氧空位.可以通过高真空条件下的热处理(热处理温度为780℃)减少样品晶格中的氧含量.室温X射线衍射分析表明,在780℃通过高真空热处理的La0.7Ca0.3MnO3-δ外延薄膜结构不发生改变.通过延长高真空热处理时间可以逐渐减少外延薄膜样品晶格中的氧含量,这反映在样品晶格常数有系统变化及样品绝缘体-金属(I-M)转变温度降低.对样品电阻率-温度曲线的拟合表明,样品晶格中的氧含量是均