电容式薄膜真空压力传感器设计

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为了满足在工程型号上的使用要求,解决真空压力传感器敏感探头壳体与传感器壳体隔离绝缘问题;传感器输出信号非线性的补偿问题;传感器热零点漂移的全电路的温度补偿问题,采用电容式薄膜封装结构,壳体为电容的另一极,在0.1-100 Pa的范围内进行了校准测试,实现了传感器0.2%FS的测量精度。
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