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提出了一种干涉相位差与检偏器方位角成线性关系的新型微分干涉显微镜,利用相移干涉技术,可定量测量样品的表面形貌及粗糙度参数,系统的垂直和横向分辨率分别为1nm和0.5μm。
旋转检偏器移相的微分干涉显微镜
【摘 要】
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提出了一种干涉相位差与检偏器方位角成线性关系的新型微分干涉显微镜,利用相移干涉技术,可定量测量样品的表面形貌及粗糙度参数,系统的垂直和横向分辨率分别为1nm和0.5μm。
【机 构】
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清华大学精密仪器系,清华大学精密仪器系100084北京,100084北京
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1992年5期
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