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本文结合生产实际，介绍了闭环式三氯氢硅还原法的工艺流程和金属冷却器的作用，重点对亚洲硅业（青海）有限公司多晶硅生产中金属冷却器流程的改进、设备材料的选择及技改前后的经济核算进行了阐述。
多晶硅生产中金属冷却器E0511abcd流程的技术改进
【摘 要】
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本文结合生产实际，介绍了闭环式三氯氢硅还原法的工艺流程和金属冷却器的作用，重点对亚洲硅业（青海）有限公司多晶硅生产中金属冷却器流程的改进、设备材料的选择及技改前后的经济
【机 构】
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亚洲硅业（青海）有限公司
【出 处】
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青海科技
【发表日期】
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2011年5期
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