高支化碱溶性感光聚酯的光成像性能

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【摘要】

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研究了高支化碱溶性感光聚合物的碱溶性、感光性及其光致抗蚀剂的成像显影性能.研究发现高支化碱溶性感光聚合物酸值越大,图像越清晰,显影时间越短,并具有更良好的图像断面;

【作者】

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冯宗财李琳郭祀远王跃川赵凌陈毅敏

【机构】

：

华南理工大学轻化工研究所,四川大学

【出处】

：

功能材料

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

高支化感光聚酯光致抗蚀剂光成像

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研究了高支化碱溶性感光聚合物的碱溶性、感光性及其光致抗蚀剂的成像显影性能.研究发现高支化碱溶性感光聚合物酸值越大,图像越清晰,显影时间越短,并具有更良好的图像断面;平行光曝光图像清晰度和断面情况均比点光源好;在合适的成像显影条件下,经UV白光接触曝光高支化感光聚合物抗蚀剂图像分辨率可达到约1μm.

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