ONCELL工艺中CELL内bubble改善

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针对TFT-LCD面板(lOInch及以上产品)使用ONCELL的方法实现触控功能的生产过程中,由于CF的OC层有机物的特性、MO镀膜的特定条件,在触控侧成膜后会使液晶盒内产生bubble,导致后续光刻工艺无法完成的结果。通过对CF的OC层成分、LCD成盒工艺中LCMargin,PVD成膜时温度、压力的调整,找到各工艺参数的规律,实现对bubble的改善。
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